EPITAXY CHÙM PHÂN TỬ (MBE)
1.Mô tả thiết bị
MBE (viết tắt từ tiếng Anh: Molecular Beam Epitaxy) dùng để chỉ phương pháp mọc màng bằng chùm phân tử. MBE cho đến nay cũng đã trở thành khái niệm rất quen thuộc không những trong ngành vật lý mà cả trong các lĩnh vực công nghệ khác. Thực chất MBE cũng là phương pháp lắng đọng pha hơi vật lý, bởi vì để tạo các phần tử ở trạng thái hơi chúng ta cũng dùng phương pháp vật lý. Sau này người ta phát triển phương pháp MBE thành AL-MBE (MBE lớp nguyên tử) để chế tạo vật liệu cấu trúc siêu mạng, vật liệu quang tử cấu trúc nano.
Hình trên là ảnh một hệ thực nghiệm MBE, gồm sơ đồ được vẽ Hệ này bao gồm hai chuông và hệ van đóng mở. Một chuông để mọc màng (gọi là chuông mọc màng) và một chuông phụ (các thế hệ đầu không có chuông phụ). Cả hai chuông đều được gắn với hệ bơm chân không. Nhờ các van chu trình, có thể đưa vào hoặc lấy ra các mẫu mà hầu như không làm ảnh hưởng đến chân không trong chuông mọc màng.
0 nhận xét:
Đăng nhận xét