Tạo áp suất từ 10-1 đến 10-10mbar, tốc độ bơm khí từ 35 l/s đến
1600 l/s
Ưu điểm :
- Bơm không dầu cho hệ thống cung cấp chân không
- Hiệu suất cao
- Dễ dàng vận hành
- Hoạt động tin cậy ở nhiệt độ cao
|
Phạm vi ứng dụng
- Quá trình
xử lý chất bán dẫn (etching, sputtering, ion implantation, CVD, lithography)
- Hệ thống phủ màng
- Nghiên cứu và phát triển
Liên hệ:
Name: Mr Kiệt
Tel: 0943 039 340 Mail: anhkiet0606@gmail.com Skype: kietlieu.tst |
0 nhận xét:
Đăng nhận xét