Tính năng
|
TURBOVAC MAG
|
|||
1300 iP(L)
|
1600 iP(L) Booster
|
1700 iP(L)
|
2200 iP(L)
|
|
Kết nối
+Inlet
(DN)
|
200 ISO-F
200 CF
|
250 ISO CF
|
250 ISO-F
250 CF
|
200 ISO-F
250 CF
|
Tốc độ bơm
N2
Ar
He
H2
(l/s)
|
1100
1050
1220
1130
|
1600
1470
1700
1570
|
1610
1480
1720
1660
|
2100
1900
2050
1750
|
Tốc độ hoạt động
Tốc độ dự phòng có thể điêu chỉnh từ tốc độ danh nghĩa
(min-1)
|
37800
13800 (230 Hz)
|
33000
13800
|
33000
13800
|
30600
13800
|
Tỉ lệ lực nén
N2
Ar
He
H2
|
> 108
> 108
8.0
x 103
2.0
x 105
|
> 107
> 107
1.0 x 103
6.0 x 104
|
> 108
> 108
4.0
x 103
2.0
x 105
|
>
107
>
107
5.0
x 103
5.0
x 104
|
Lượng khí đưa vào, max
N2 trong thời gian ngắn
N2 khi hoạt động liên tục
Ar thời gian ngắn
Ark hi hoạt động liên tục
(mbar x l x s-1)
|
30
20
20
10
|
60
30
30
20
|
30
20
20
15
|
30
20
20
15
|
Áp suất giới hạn
ISO-F flange
CF flange
(mbar)
|
< 10-8
< 10-9
|
< 10-8
-
|
< 10-8
< 10-9
|
< 10-8
< 10-9
|
Max. degassing temperature
(oC)
|
80
|
80
|
80
|
80
|
Max foreline pressure for
N2
Ar
(mbar)
|
4
0.6
|
1.0
1.0
|
4.0
0.0
|
2.5
2.5
|
Máy bơm chân không đề xuất
|
TRIVAC B or dry compressing pump
|
|||
Foreline flanger
(DN)
|
40 KF
|
40 KF
|
40 KF
|
40 KF
|
Purge / vent port
(DN)
|
16 KF
|
16 KF
|
16 KF
|
16 KF
|
Nước làm mát
|
1/8*
|
1/8*
|
1/8*
|
1/8*
|
Khối lượng
(kg)
|
40
|
45
|
45
|
45
|
Run-up time
(min)
|
<7
|
<7
|
<7
|
<7
|
Độ ồn
(dB)
|
<41
|
<41
|
<41
|
<41
|
Độ rung mặt bích khi ở áp suất cao, tốc độ max
(μm)
|
0.01
|
0.01
|
0.01
|
0.01
|
Tel: 0943 039 340
Mail: anhkiet0606@gmail.com Skype: kietlieu.tst
0 nhận xét:
Đăng nhận xét